在精密機械設備零件加工廠，電子光學組織幾何圖形測量微檢測儀依照參考專用工具通常可以為分成四大類：干涉儀、自準直光列管式儀器設備、光學顯微鏡式儀器設備、投射式儀器設備。

在精密機械設備零件加工廠，光學顯微鏡式儀器設備和投射式儀器設備，是把被精確測量件經光學元件變大三維成像，選用電子光學的量程系統軟件目標完成精確測量。變大幾倍精確測量，比看著不變大看準精確測量的精確度也提升幾倍。

在精密機械設備零件加工廠，自準直光列管式儀器設備由望眼鏡和平行光管構成，用自準直日光燈管的量程對系統用望眼鏡得到的像開展精確測量。其變大倍數M（望）是望眼鏡的測微目鏡鏡頭焦距F（物）和目鏡焦距F（目）之比：M（望）＝F（物）／F（目）。它與被測精密加工物件的部位不相干，因而增加了儀器設備的主要用途。自準直日光燈管電子光學量程系統軟件是一些光學設備的構成部分，如與正切值組織可以構成測微組織電子光學比較儀及０．２μｍ的影屏讀值電子光學比較儀，還可以獨立應用。

在精密機械設備零件加工廠，干涉儀是依據光波干預基本原理設計方案的測微組織，以燈源光波長為標準完成最少量的測微組織。尤其是激光光源的發生和激光器CNC金屬鋁加工技術性、電子信息技術的發展趨勢，更拓展了精密機械設備加工的干預測微組織的運用范疇。

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